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[发明专利]用于泵的阀体-CN201010548690.6有效
发明人：村田宝;村田茂 -专利权人：山田株式会社
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： F04B53/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于泵的阀体，其具有位于阀体中心处的压缩空气填充室和压缩空气供应端口，压缩空气通过所述压缩空气供应端口被供应到压缩空体填充室中。所述阀体的外表面上设有环槽形的空气供应室，所述环槽形的空气供应室使压缩空气填充室和泵侧的空气室之间连通。通过所述压缩空气供应端口供应到压缩空气填充室中的压缩空气通过空气供应室被供应到所述泵侧的空气室中。
用于阀体

[发明专利]预燃室在双燃料源发动机中的使用-CN202210361113.9在审
发明人： M·B·莱利;G·J·汉普森;D·切拉 -专利权人：伍德沃德有限公司
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： F02M37/00 文献下载
摘要：发动机具有燃烧室、与燃烧室分开的预燃室和跨越在燃烧室与预燃室之间的开口。发动机还具有第一燃料供应系统和第二燃料供应系统，第一燃料供应系统适于向预燃室供应液体燃料并且第二燃料供应系统适于向燃烧室供应第二不同燃料。在某些情形下，氧气供应系统向预燃室内供应氧气。
预燃室燃料发动机中的使用

[发明专利]预燃室在双燃料源发动机中的使用-CN201580024817.5在审
发明人： M·B·莱利;G·J·汉普森;D·切拉 -专利权人：伍德沃德有限公司
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： F02M37/00 文献下载
摘要：发动机具有燃烧室、与燃烧室分开的预燃室和跨越在燃烧室与预燃室之间的开口。发动机还具有第一燃料供应系统和第二燃料供应系统，第一燃料供应系统适于向预燃室供应液体燃料并且第二燃料供应系统适于向燃烧室供应第二不同燃料。在某些情形下，氧气供应系统向预燃室内供应氧气。
预燃室燃料发动机中的使用

[发明专利]前驱体供应腔室-CN202080045851.1在审
发明人： J·韦斯林;M·马里拉;P·索恩宁 -专利权人： BENEQ有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及用于容纳前驱体容器(80)的前驱体供应腔室(10)，该前驱体供应腔室(10)与原子层沉积设备连接。前驱体供应腔室(10)包括腔室壁(11、12、13、15、16、18)，该腔室壁(11、12、13、15、16、18)限定前驱体供应腔室(10)内部的腔室空间。前驱体供应腔室(10)还包括腔室门组件(12、17、30、32、40)、第一加热元件(61)以及气密式前驱体连接件(50)，该腔室门组件(12、17、30、32、40)布置成以气密方式关闭前驱体供应腔室(10)，第一加热元件(61)设置至前驱体供应腔室(10)并且布置成加热前驱体供应腔室(10)的腔室空间内部的前驱体容器(80)，气密式前驱体连接件(50)设置至腔室壁(11、12、13、15、16、18)以将前驱体从前驱体容器(80)供应到前驱体供应腔室(10)外部。
前驱供应

[发明专利]液体喷射设备和液体供应单元-CN201710164790.0有效
发明人：杉浦启太 -专利权人：兄弟工业株式会社
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本发明提供液体喷射设备和液体供应单元。液体喷射设备包括：喷射模块；供应腔室，连接到所述喷射模块和容器，容器构造成存储液体；阻尼腔室，连接到供应腔室，供应腔室包括：与阻尼腔室连通的第一开口；和与容器连通的第二开口。液体供应单元包括：供应腔室，连接到喷射模块和容器，容器构造成存储液体；阻尼腔室，连接到供应腔室，供应腔室包括：与容器连通的第一开口；和与阻尼腔室连通的第二开口。本发明能防止在阻尼腔室中产生的高粘度液体和空气气泡流入喷射模块中。
液体喷射设备供应单元

[发明专利]大推力液体火箭发动机推力室试验装置及方法-CN201910006049.0在审
发明人：张春本;张昉;王菊金;李晨;袁宇;常克宇;张小平;葛明和 -专利权人：北京蓝箭空间科技有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： F02K9/96 文献下载
摘要：本发明提供一种大推力液体火箭发动机推力室试验装置及方法，装置包括：推力室，用于为氧化剂与燃料反应提供场所；点火器，设置在推力室氧化剂供应端，用于触发氧化剂与燃料反应；氧旁路，设置在推力室氧化剂供应端，用于点火器点火启动阶段向推力室供应氧化剂；氧主路，设置在推力室氧化剂供应端，用于推力室正常运转后与氧旁路一起向所述推力室供应氧化剂；燃料旁路，设置在所述推力室燃料供应端，用于点火器点火启动阶段向推力室供应燃料；燃料主路，设置在推力室燃料供应端，用于推力室正常运转后与燃料旁路一起向推力室供应燃料。本发明能够降低推力室起动风险，真实、准确地获得推力室的性能数据，缩短推力室及发动机研制周期。
推力室点火器氧化剂供应液体火箭发动机供应氧化剂燃料供应端氧化剂点火启动供应燃料燃料反应燃料旁路试验装置大推力旁路主路发动机研制性能数据触发起动燃料

[发明专利]蚀刻装置及其蚀刻方法-CN202080016475.3在审
发明人：李昇勋;牟圣元;李羊浩;裵祯贤;朴成焕;赵显东 -专利权人：杰宜斯科技有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种蚀刻装置及其蚀刻方法，蚀刻装置包含：蚀刻液供应部，蚀刻液供应部向蚀刻腔室供应蚀刻液；冲洗液供应部，冲洗液供应部向蚀刻腔室供应冲洗液；清洗液供应部，清洗液供应部向蚀刻腔室供应清洗液；及第一加压维持部，第一加压维持部使蚀刻腔室与蚀刻液供应部中至少任意一个维持在加压环境。
蚀刻装置及其方法

[实用新型]大推力液体火箭发动机推力室试验装置-CN201920015394.6有效
发明人：张春本;张昉;王菊金;李晨;袁宇;常克宇;张小平;葛明和 -专利权人：蓝箭航天空间科技股份有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： F02K9/96 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大推力液体火箭发动机推力室试验装置，装置包括：推力室，用于为氧化剂与燃料反应提供场所；点火器，用于触发氧化剂与燃料反应；氧旁路，设置在推力室氧化剂供应端，用于点火器点火启动阶段向推力室供应氧化剂；氧主路，设置在推力室氧化剂供应端，用于推力室正常运转后与氧旁路一起向所述推力室供应氧化剂；燃料旁路，设置在所述推力室燃料供应端，用于点火器点火启动阶段向推力室供应燃料；燃料主路，设置在推力室燃料供应端，用于推力室正常运转后与燃料旁路一起向推力室供应燃料。本实用新型能够降低推力室起动风险，真实、准确地获得推力室的性能数据，缩短推力室及发动机研制周期。
推力室点火器液体火箭发动机本实用新型供应氧化剂燃料供应端氧化剂供应氧化剂点火启动供应燃料燃料反应燃料旁路试验装置大推力旁路主路发动机研制性能数据起动触发燃料

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202110767438.2在审
发明人：崔峻荣;李钟斗 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：该基板处理装置包括：工艺腔室，在工艺腔室的内部提供处理空间，在处理空间中处理基板；将流体供应到工艺腔室中的流体供应单元；以及包括排放管线的排放单元，工艺腔室中的流体通过排放管线被排放。流体供应单元包括：供应罐，流体被储存在该供应罐中；连接供应罐和工艺腔室的供应管线；在供应管线的第一点处从供应管线分支的分支管线；以及控制流体供应单元的控制器，并且控制器控制流体供应单元，使得在流体被供应到工艺腔室中之前不久，流体通过分支管线从所述供应管线被排出。
处理装置方法

[发明专利]燃烧结构-CN201480040640.3有效
发明人：彼得·明托弗特 -专利权人：查尔顿杰里克有限公司
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： F24B5/02 文献下载
摘要：一种燃烧结构(10)包括火箱(12)，其界定燃料(未示出)可以在其中燃烧的燃烧室(14)；第一空气供应装置(16)，其用于将空气输送至燃烧室(14)以支持在燃烧室中的燃料的燃烧；和第二空气供应装置(18)，其用于供应另外的空气以支持燃烧室(14)内的燃料的燃烧，第二空气供应装置(18)包括供应导管(20)，供应导管(20)将燃烧室(14)与空气供应(22)连接，供应导管(20)具有随着供应导管(20)通入至燃烧室(14)中而增加的横截面(24)。
燃烧结构

[发明专利]液体供应单元以及液体喷射装置-CN201910235099.6有效
发明人：江藤大辅 -专利权人：京瓷办公信息系统株式会社
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明提供一种液体供应单元以及液体喷射装置。液体供应单元从贮存指定的液体的液体收容容器向喷射液体的液体喷射头供应液体。液体供应单元包含压力室、第一供应通道、第二供应通道、旁路供应通道及加压机构。压力室可贮存液体。第一供应通道使液体收容容器与压力室连通。第二供应通道使液体喷射头与压力室连通。旁路供应通道的液体供应方向的上游端连接于第一供应通道，下游端与第二供应通道汇合。加压机构被配置在旁路供应通道，对在该旁路供应通道流通的液体进行加压。据此，在利用贮存液体的压力室的压力变动的液体供应单元中，能够简单地执行液体喷射头的加压清除。
液体供应单元以及喷射装置

[发明专利]基板处理设备及基板处理方法-CN202210966542.9在审
发明人：李相旼;郑雨珍;金基峰 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理设备包括提供处理空间的腔室；及将处理流体供应至腔室的流体供应单元，且其中流体供应单元包括：储存处理流体的供应槽；连接供应槽与腔室的供应管线；及安装在供应管线处的多个阀，且其中多个阀中的任一个作为安全阀提供，且其中安全阀在确认将处理流体从槽供应至腔室时腔室已切换至闭合状态之后打开。
处理设备方法

[发明专利]气体供应单元和基底处理系统-CN201610884328.3有效
发明人：郑淑真;李钟喆;郑珉和;申宰哲;李仁善;崔釿奎;安重镒;李承翰;许真弼 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2016-10-10 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开了一种气体供应单元和基底处理系统，所述基底处理系统可以包括：工艺室，在工艺室中执行对基底的工艺；支撑单元，在工艺室中用于支撑基底；气体供应单元，包括具有气体供应孔的气体供应部，并且气体供应孔被构造为将工艺气体供应到基底上；排放单元，被构造为将工艺气体从工艺室排出。气体供应部可以包括设置有气体供应孔的气体供应区域和在气体供应区域与排放单元之间的气体扩散区域。气体扩散区域可以没有气体供应孔。
气体供应单元基底处理系统

[发明专利]用于设置涡轮发动机的叶片的节距的设备以及包括这种设备的涡轮发动机-CN202280019624.0在审
发明人：塞巴斯蒂安·奥里奥尔;卡洛琳·玛丽·弗朗兹;巴斯蒂安·皮埃尔·维迪尔 -专利权人：赛峰飞机发动机公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B64C11/38 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于设置涡轮发动机的叶片(5)的节距的设备(10)，该设备包括：‑控制系统(14)，该控制系统作用于连接机构(12)，并且包括致动器，该致动器具有两个腔室；‑供应装置(30)，该供应装置联接到流体输送轴承(40)，该流体输送轴承用于将加压流体从固定参考框架中的主供应源(32)输送到腔室；‑辅助供应回路，该辅助供应回路被布置在旋转参考框架中，并且连接到供应装置和主供应源，供应装置被构造成：‑在正常运行中，使得流体能够从主供应源流向腔室和辅助供应回路，以及‑在从主供应源到腔室的供应中断的情况下，使得加压流体能够从辅助供应回路流向腔室。
用于设置涡轮发动机叶片设备以及包括这种

[发明专利]纺织品加工装置和纺织品加工方法-CN202180055802.0在审
发明人：萨沙·奥尔;尤尔根·法特西彻;西洛·费希尔;西格弗里德·鲍尔 -专利权人：威捷公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： D06F31/00 文献下载
摘要：本发明涉及纺织品加工装置，其包括：加工室；纺织品供应单元，所述纺织品供应单元被配置成向所述加工室供应纺织品；蒸气供应单元，所述蒸气供应单元被配置成向所述加工室供应具有预定蒸气性质的水蒸气；蒸气检测单元，所述蒸气检测单元被配置成检测供应到所述加工室的所述水蒸气的蒸气参数；以及蒸气控制单元，所述蒸气控制单元被配置成响应于检测到的蒸气参数而改变供应到所述加工室的所述水蒸气的蒸气性质。
纺织品加工装置方法

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